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直流射頻兼容:HCCS-4探針臺打造半導體測試解決方案

更新時間:2026-04-28      點擊次數:43

半導體與材料測試中,精度與效率缺一不可。華測儀器HCCS-4探針臺以高準度為關鍵,整合實用功能,適配多元化測試需求,是為實驗室與生產線設計的測試裝備。

該設備定位準確,X-Y移動平臺行程4×4英寸,具備1μm移動精度,采用準確傳動結構,可準確定位測試點位,避免數據失真,保障測試數據可信度。樣品臺支持360°旋轉及準確微調,可實現多角度重復測試,定位準確、數據波動小,保障數據穩定性與可重復性,降低實驗誤差、優化測試效率。設備具有溫控能力,溫度范圍覆蓋室溫至400℃,可模擬材料實際服役溫度;0.1℃控溫精度,能穩定維持溫度恒定,適配高溫等材料的電學性能測試。測試功能多元化,支持高溫I-V、擊穿、介電溫譜等多種項目,可評估材料與器件高溫電學特性,為研發優化、性能歸因提供依據,適配多領域需求。U型平臺可搭載2~4個探針座,支持直流、射頻兼容,適配多種測試儀表,無需額外轉接設備;探針座兼容多種線材,可滿足不同精度測試需求。采用中心吸附孔+多圈吸附環設計,可牢固固定薄片、薄膜、晶圓等多種樣品;配備電學單獨樣品臺,拓寬樣品適配范圍,可滿足特殊樣品測試需求。搭載高清體式顯微鏡,成像清晰,便于快速找點對針;支持可選CCD成像系統,實現測試可視化記錄,兼顧精度與效率,優化測試流程順暢性。

華測儀器HCCS-4探針臺憑借高準度、高適配性,契合半導體與材料測試需求,為技術創新與產業升級提供有力測試支撐。華測儀器的業務涵蓋從單臺測試設備供應到整體實驗室規劃建設的全過程。建設絕緣材料或功能材料電性能檢測實驗室,華測儀器可提供從方案設計到交付驗收的完整服務。

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