HCCS-4材料電滯回線測試探針臺

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HCCS-4材料電滯回線測試探針臺由華測儀器生產，采用U型針座平臺，可同時容納2~4個CB-100探針座同時點測；帶有鎖定旋鈕夾盤，可以附加單獨的校準片載臺；樣品固定采用不低于4″卡盤，采用中間吸附孔和多圈吸附環固定樣品，均單獨控制，中間吸附孔下限可以選擇250微米。

產品參數

臺體參數

水平旋轉：可360°旋轉，可微調15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程：4英寸*4英寸（卡盤X-Y軸無間隙移動）

X-Y移動精度：1μm

樣品臺調節：平臺可升降調節適合加裝探針卡，便于針卡重定位

顯微鏡參數

顯微鏡環繞立柱旋轉式設計，便于快速移動顯微鏡，顯微鏡移動范圍覆蓋樣品臺；卡盤可做電極引出信號進行雙面測試

總放大倍率：16倍~100倍

變焦：0.8倍~5倍

CCD：帶CCD接口和0.4XC-mount；下限分辨率至2μm

鏡座：雙目觀察傾斜45°，雙瞳距調節范圍：52~75mm，傾斜360°旋轉

X,Y,Z軸方向調節范圍：＞50.8mm，調節精度小于2μm

工作距離：115mm，加裝2倍輔助鏡工作距離40mm

光源：帶外置LED高亮無極調節亮度環形光源

溫控參數

溫度范圍：室溫~400℃

分辨率：0.1℃

控溫精度：0.1℃

溫度穩定性：±1℃